半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi):
1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類(lèi):
1.可燃、助燃、易然易暴氣體:H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體:AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃?xì)怏w:O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體:N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體:HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等






一氧化碳氣體檢測(cè)儀使用注意事項(xiàng)
1.傳感器是儀器的重要組成部分也是蕞容易損壞的部分,所以傳感器的保養(yǎng)清潔是關(guān)鍵。平時(shí)要檢查儀器的清潔,儀器要經(jīng)常檢查維護(hù),如果發(fā)現(xiàn)有問(wèn)題一定要進(jìn)行維修和更換零件。
2.此外還要經(jīng)常校準(zhǔn)儀器,因?yàn)閮x器使用時(shí)間長(zhǎng)了就會(huì)有偏差,為了保證儀器的準(zhǔn)確,要時(shí)常檢查時(shí)常校正,還要記住氣體檢測(cè)儀要經(jīng)常歸零。把握相關(guān)知識(shí)和基礎(chǔ)知識(shí)可以更好地使用一氧化碳檢測(cè)儀。
3.長(zhǎng)時(shí)間不用設(shè)備,要定期拿出來(lái)充電,以免電池饋電,造成儀器使用出現(xiàn)問(wèn)題。
一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)儀特點(diǎn):
1.液晶背光多個(gè)體顯示;
2.一氧化碳報(bào)警器抗干擾、防塵、抗?jié)?、抗腐蝕;
3.使用環(huán)境范圍寬,使用壽命長(zhǎng);
4.各檢測(cè)點(diǎn)獨(dú)立設(shè)定,檢測(cè)歷史查詢(xún),自主設(shè)定一、二級(jí)報(bào)警值,零點(diǎn)漂移正位,中文顯示;
5.個(gè)體聲光報(bào)警、個(gè)體濃度數(shù)值顯示;
6.抗干擾能力強(qiáng)。

充裝工作時(shí)每位氣體工作人員都需要知道的事情,那么他們是怎么進(jìn)行充裝的呢?下面就由強(qiáng)源氣體為大家詳細(xì)解答。
1、充裝后的瓶裝氣體產(chǎn)品應(yīng)有專(zhuān)人負(fù)責(zé)逐只檢查,不符合要求時(shí),應(yīng)妥善處理。
2、檢查內(nèi)容包括:實(shí)測(cè)瓶?jī)?nèi)壓力是否在規(guī)定范圍以?xún)?nèi);
3、瓶?jī)?nèi)純度是否在規(guī)定范圍以?xún)?nèi);
4、瓶閥及其與瓶口連接的密封性是否良好;
5、氣瓶在充裝后,是否出現(xiàn)鼓泡變形等影響安全使用的嚴(yán)重缺陷;
6、瓶體溫度是否有異常變化;氣瓶的附件是否齊全,是否符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn);
7、產(chǎn)品合格證是否填寫(xiě)正確、清晰和規(guī)范;每只出廠瓶裝氣體是否貼有警示標(biāo)簽。
